Трифторид азота (NF3) Газ высокой чистоты
Основная информация
| КАС | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Что это за материал?
Трифторид азота (NF3) представляет собой газ без цвета и запаха при комнатной температуре и атмосферном давлении. Его можно сжижать под умеренным давлением. NF3 стабилен при нормальных условиях и не разлагается легко. Однако он может разлагаться под воздействием высоких температур или в присутствии определенных катализаторов. NF3 имеет высокий потенциал глобального потепления (ПГП) при попадании в атмосферу.
Где использовать этот материал?
Чистящее средство в электронной промышленности: NF3 широко используется в качестве чистящего средства для удаления остаточных загрязнений, таких как оксиды, с поверхностей полупроводников, плазменных панелей (PDP) и других электронных компонентов. Он может эффективно очищать эти поверхности, не повреждая их.
Газ для травления при производстве полупроводников: NF3 используется в качестве газа для травления в процессе производства полупроводников. Он особенно эффективен при травлении диоксида кремния (SiO2) и нитрида кремния (Si3N4), которые являются обычными материалами, используемыми при изготовлении интегральных схем.
Производство соединений фтора высокой чистоты: NF3 является ценным источником фтора для производства различных фторсодержащих соединений. Он используется в качестве прекурсора в производстве фторполимеров, фторуглеродов и специальных химикатов.
Генерация плазмы при производстве плоских дисплеев: NF3 используется вместе с другими газами для создания плазмы при производстве плоских дисплеев, таких как жидкокристаллические дисплеи (ЖК-дисплеи) и плазменные панели. Плазма необходима в процессах осаждения и травления при изготовлении панелей.
Обратите внимание, что конкретные области применения и правила использования этого материала/продукта могут различаться в зависимости от страны, отрасли и цели. Всегда соблюдайте правила техники безопасности и консультируйтесь со специалистом перед использованием этого материала/продукта в любых целях.
